应用于半导体行业的交叉滚柱导轨

THK将扩充带防止保持架偏移机构的交叉滚柱导轨标准型的产品阵容,并追加中间轨道型作为产品目录中的标准品。

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带防止保持架偏移机构 交叉滚柱导轨

 交叉滚柱导轨采用将精密滚柱正交排列的保持架与专用轨道组合而成的结构,是一种有限行程动作轻快的直线运动导向产品。其具有THK独特的齿条和小齿轮机构,可以避免保持架偏移,实现精确运动。可应用于半导体制造装置,最适用于电子部件制造装置和光学测量设备等,该产品除了办公设备和周边设备等传统需求以外,预计未来亦将应用于更广泛的领域。

 到目前为止,产品阵容以可自由设计安装间隔的标准型为主,不过,此次新增了安装简便和设备小型化的中间轨道型产品*。与现有的VR型相比,新产品增加了滚柱数量,大幅度提高了基本额定载荷和刚性,而且寿命更长。
*具有标准型内侧两条轨道一体化的形状 。

 为了满足多种需求,我们将大幅扩充交叉滚柱导轨标准型、中间轨道型的型号数量,推出更加丰富多彩的产品阵容。

  THK今后也将继续开发并提供满足各种领域需求的产品,助力于各类设备的高性能化发展。